マイクロ共振光MEMS音響センサーの可能性と限界

微小共振型光MEMS音響センサーは、位相差、波長差、そして屈折率の変化による光強度の変化を測定することで音波を検出します。水中音波検出に大きな可能性を秘めている一方で、動作周波数帯域が狭いことや構造が脆弱であることなどの課題も抱えています。