마이크로 공진 광학 MEMS 음향 센서의 잠재력과 한계

마이크로 공진 광학 MEMS 음향 센서는 굴절률 변화에 따른 위상차, 파장차, 그리고 광도 변화를 측정하여 음파를 감지합니다. 수중 음파 감지에 큰 잠재력을 가지고 있지만, 좁은 작동 주파수 대역과 취약한 구조라는 단점도 있습니다.